潔凈室空氣凈化處理(初效、中效、高效空氣過濾器)三級過濾:
潔凈室各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效空氣過濾器、中效空氣過濾器、高效空氣過濾器三級過濾。
注、100,000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代替高效空氣過濾器確定集中式或分散式凈化空氣調節系統時，應綜合考慮生產工藝特點和潔凈室空氣潔凈度等級、面積位置等因素。凡生產工藝連續、潔凈室面積較大、位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節系統。
凈化空氣調節系統設計應合理利用回風。凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛生要求或對其他工序有危害時，則不應利用回風。
凈化空氣調節系統除直流式系統和設置值班風機的系統外，應采取防止室外污染空氣通過新風口滲入潔凈室內的防倒灌措施。
空氣過濾器的選用、布置和安裝方式，應符合下列要求：
1、初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器
2、中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節系統的正壓段；
3、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾氣宜設置在凈化空氣調節系統末端；
4、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用；
5、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一潔凈室內；
6、高效空氣過濾器的安裝方式應簡便可靠，宜于檢漏和更換。
送風機可按凈化空氣調節系統的總送風量和總阻力值進行選擇。中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。
凈化空氣調節系統如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高效空氣過濾器的上風側，并應有防火安全措施。
